attocube社のレーザー干渉変位計は、ナノメーターレベルの精度及び数メートルの作動距離を実現したレーザー干渉変位計です。センサーヘッドの選択以外にも、数々のオプションがあります。
IDS用環境補正ユニット
KFフランジまたはCFフランジにFC/APCフィードスルーが付いています。1軸または3軸用。
ターゲットセットアップ用、テスト用に
