PRODUCTS製品案内

精密位置決めステージ Nanopositioners

工業向けピエゾステージ

回転ピエゾステージ

回転ピエゾステージ

ECRシリーズ

 

注:サイズ、重量、写真はオープンループタイプのモデルの物です。/NUMクローズドループタイプは、形状、サイズ、重さが変わります。

各ステージの仕様表をダウンロードするには、型番またはエンコーダーの欄のリンクをクリックしてください。

注意:仕様等は予告なく変更される場合があります。必ず営業担当にご確認ください。

室温環境回転用ピエゾステージ
型番 動作 サイズ;高さ(mm) 可動範囲 最大荷重(N) エンコーダー  
ECR3030 回転ポジショナー 30x30x13.5 360° 20 ECR3030/AL/RT
ECR3030/AL/NUM/RT
ECR3030/StSt/HV
ECR3030/StSt/NUM/HV
ECR3030/StSt/UHV
ECR3030/StSt/NUM/UHV
ECR4040 回転ポジショナー 40x30x14.5 360° 10 ECR4040/AL/RT
ECR4040/AL/NUM/RT

ECR5050hs 回転ポジショナー 50x50x15 360° 20 ECR5050hs/AL/RT
ECR5050hs/AL/NUM/RT
ECR5050hs/StSt/NUM/HV
ECR5050hs/StSt/UHV
ECR5050hs/StSt/NUM/UHV
ECR5050hs/StSt/NUM+/UHV

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