PRODUCTS製品案内
精密位置決めステージ Nanopositioners
工業向けピエゾステージ
回転ピエゾステージ
ECRシリーズ
注:サイズ、重量、写真はオープンループタイプのモデルの物です。/NUMクローズドループタイプは、形状、サイズ、重さが変わります。
各ステージの仕様表をダウンロードするには、型番またはエンコーダーの欄のリンクをクリックしてください。
注意:仕様等は予告なく変更される場合があります。必ず営業担当にご確認ください。
室温環境回転用ピエゾステージ | ||||||
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型番 | 動作 | サイズ;高さ(mm) | 可動範囲 | 最大荷重(N) | エンコーダー | |
ECR3030 | 回転ポジショナー | 30x30x13.5 | 360° | 20 |
ECR3030/AL/RT ECR3030/AL/NUM/RT ECR3030/StSt/HV ECR3030/StSt/NUM/HV ECR3030/StSt/UHV ECR3030/StSt/NUM/UHV |
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ECR4040 | 回転ポジショナー | 40x30x14.5 | 360° | 10 |
ECR4040/AL/RT ECR4040/AL/NUM/RT |
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ECR5050hs | 回転ポジショナー | 50x50x15 | 360° | 20 |
ECR5050hs/AL/RT ECR5050hs/AL/NUM/RT ECR5050hs/StSt/NUM/HV ECR5050hs/StSt/UHV ECR5050hs/StSt/NUM/UHV ECR5050hs/StSt/NUM+/UHV |