PRODUCTS製品案内
レーザー干渉変位計 Displacement Sensor
センサーヘッド
D4/F17
FPS/IDS用センサーヘッド
レーザー干渉変位計FPS3010及びIDS3010用で使用される小型センサーヘッドキットです。
このセンサーヘッドは直径4mmと小型で、他のセンサーヘッドが設置不可能なスペースでの使用できます。焦点において70µmのスポット径であり、低反射率材料や粗面対象物の計測に有利です。
焦点近くでは低反射率材料において4mmの測定範囲があり、高反射率材料では最高15mmの測定範囲で変位測定が可能です。センサーヘッドセットには、ファイバーが直結されています。センサーヘッド及びファイバーは、高真空(HV)・超高真空(UHV)・極低温(LT)・高放射線(RAD)などの環境での使用に対応するグレードも選択できます。
仕様
| 一般仕様 | |
|---|---|
| 光学タイプ | フォーカス |
| 大きさ | 直径4mm, 長さ11.5mm |
| 焦点距離 | 17mm |
| コネクタ | なし (センサーヘッド/ファイバー一体型) |
| 使用環境 | RT (0-100°C、1×10-4mbar ～10bar) HV (0-150°C、1×10-8mbar ～10bar) UHV (0-150°C、1×10-10mbar ～10bar) LT (mK-423K (150°C)、1×10-4mbar～10bar) RAD (0～150°C、放射線量10MGy以下) |
| 極低反射率材料(ガラス等) | |
| 測定モード | シングルパス |
| 測定範囲 | 14.5-19.5mm |
| アライメント許容範囲 | ±0.15° |
| 高反射率材料(光学ミラー等) | |
| 測定モード | シングルパス |
| 測定範囲 | 50-65mm |
| アライメント許容範囲 | ±0.2° |
寸法
