主な仕様

• 低電流イメージング <1pA (at 5kHz帯域幅)
• 高速スキャン 3sec/フレーム
• 小型化による機械的、熱的安定性、高剛性 サーマルドリフト <1Å/min
• 特定の微小領域に対しるスペクトロスコピー、長時間測定に最適
• 試料の加熱によるスキャンチューブへの影響なし
• 共鳴周波数による制約が少なく高速スキャンが可能
• 粗動機構: 5 mm X 5 mm (XY)
• スキャン範囲: 5 μm X 5 μm (XY)
• 分解能: 0.5 Å(X,Y), 0.1 Å(Z)
• サーマルドリフト: <1Å/min
• 試料温度; 25K(LHe)から>1500Kまたは100K(LN2)から>1500K
• 熱電対による試料温度の直接測定
• イメージング可能な試料温度: 1000K (ThermaAFM使用), 1000K (STM)
• 試料ホルダーに6電極。(温度センサー用2, ヒーター用2, 汎用2)同一ホルダーにて加熱、冷却e-ビーム、等に対応
• クリービング用試料ホルダー、RFシグナル伝達用ホルダー、その他
• 試料サイズ: 10 mm X 10 mm