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スキャナー
極低温、超高真空、高磁場中
各ステージの仕様表をダウンロードするには、型番の欄のリンクをクリックしてください。
極限環境用スキャナー
型番
動作
サイズ;高さ(mm)
可動範囲(µm) @300K
可動範囲(µm) @4K
最大荷重(N)
環境仕様
ANSxy50
2軸小型xyスキャナー
15×15;7
30x30
15×15
0.5
ANSxy50/RT
ANSxy50/HV
ANSxy50/UHV
ANSxy50/LT
ANSxy50/LT/HV
ANSxy50/LT/UHV
ANSz50
小型zスキャナー
15×15;6
4.3
2
0.5
ANSz50/RT
ANSz50/HV
ANSz50/UHV
ANSz50/LT
ANSz50/LT/HV
ANSz50/LT/UHV
ANSxyz50
3軸小型xyzスキャナー
15×15;13
30x30x4.3
15x15x2
0.5
ANSxyz50/RT
ANSxyz50/RT
ANSxyz50/RT
ANSxyz50/RT
ANSxyz50/RT
ANSxyz50/RT
ANSxy100lr
2軸xyスキャナー
24×24;10
40x40
9×9
1
ANSxy100lr/RT
ANSxy100lr/HV
ANSxy100lr/UHV
ANSxy100lr/LT
ANSxy100lr/LT/HV
ANSxy100lr/LT/UHV
ANSxy100std
2軸xyスキャナー
24×24;10
40x40
9×9
1
ANSxy100std/RT
ANSxy100std/HV
ANSxy100std/UHV
ANSxy100std/LT
ANSxy100std/LT/HV
ANSxy100std/LT/UHV
ANSz100lr
zスキャナー
24×24;12
50
30
1
ANSz100lr/RT
ANSz100lr/HV
ANSz100lr/UHV
ANSz100lr/LT
ANSz100lr/LT/HV
ANSz100lr/LT/UHV
ANSz100std
zスキャナー
24×24;10
24
15
1
ANSz100std/RT
ANSz100std/HV
ANSz100std/UHV
ANSz100std/LT
ANSz100std/LT/HV
ANSz100std/LT/UHV
ANSxyz100
3軸xyzスキャナー
24×24;10
50x50x24
30x30x15
1
ANSxyz100/RT
ANSxyz100/HV
ANSxyz100/UHV
ANSxyz100/LT
ANSxyz100/LT/HV
ANSxyz100/LT/UHV
ANSxyz100hs
3軸xyzスキャナー
24×24;10
40x40x4.3
9x9x2
1
ANSxyz100hs/RT
ANSxyz100hs/HV
ANSxyz100hs/UHV
ANSxyz100hs/LT
ANSxyz100hs/LT/HV
ANSxyz100hs/LT/UHV
ANSx150
1軸xスキャナー
24×24;9
80
125
1
ANSx150/RT
ANSx150/HV
ANSx150/UHV
ANSx150/LT
ANSx150/LT/HV
ANSx150/LT/UHV
メーカーサイトへのリンク
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